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廢氣處理等離子廢氣凈化器等離子廢氣凈化器設備低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，這就是等離子廢氣處理設備的工作原理。
廢氣處理等離子廢氣凈化器等離子廢氣處理原理：采用高壓發生器產生并形成低溫等離子體，在平均能量大約在5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的廢氣成分苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。在處理過程中，當有機氣體進入冷離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室（PRC）。反應室內每根管子的中間有一根冠狀電線，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節高壓，高壓導通道管子里的冠狀電線上，由電線至管壁產生放電現象。
一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產生化學性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。此外還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以出塵。同時注入環境或者二級氣體來優化反應室的濕度和溫度等級，與此同時加入離子來改善反應室內的反應。這種冷離子體處理方法使有機氣體在低溫下進行“氧化"。
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